Endeffektoren
aus CFK

LEICHTER. STÄRKER. PRÄZISER.

Die CFK-Endeffektoren von MURTFELDT vereinen hochpräzise Handhabung mit maximaler Leichtbaukompetenz – für den Einsatz in automatisierten Produktionsumgebungen der Halbleiterindustrie.

CFRP-Endeffektoren vereinen geringes Gewicht, hohe Steifigkeit und Langzeitstabilität, um die Präzisionsanforderungen der modernen Halbleiterfertigung zu erfüllen. Ihre mechanischen, thermischen und chemischen Eigenschaften können auf spezifische Prozessbedingungen zugeschnitten werden, was eine zuverlässige Waferhandhabung auch in beengten Räumen oder anspruchsvollen Umgebungen ermöglicht.

Integrierte Vakuumkanäle sorgen für einen gleichmäßigen Durchfluss und reduzieren potenzielle Leckstellen, während die Verbundstruktur über einen weiten Temperaturbereich hinweg enge Toleranzen, hohe Ebenheit und minimale Verformung gewährleistet. Mit einem Elastizitätsmodul von bis zu 350 GPa bei einer Dichte von etwa 1,5 g/cm³ bietet CFRP eine kompakte und langlebige Lösung für leistungsstarke Automatisierungssysteme.

WARUM CFK? IHRE VORTEILE AUF EINEN BLICK

Maximale Leistungsfähigkeit und Festigkeit

bei minimalem Gewicht

Mechanische, thermische und chemische Eigenschaften

lassen sich exakt auf Ihre Anwendung abstimmen

Hochleistungsmaterial für komplexe Geometrien

und anspruchsvolle Anwendungen

Hohe Lebensdauer

Wartungsarme und stabile Prozesse auch unter extremen Bedingungen

Technik, die bewegt – intelligente CFK-Endeffektoren für präzise Prozesse

Endeffektoren aus CFK

Innovativer Fertigungsprozess ermöglicht feinste integrierte Vakuumkanäle zur optimierten Handhabung der Wafer
Geringe Aufbauhöhe durch hohe Steifigkeit für höchste Positioniergenauigkeit und maximale Bewegungsfreiheit bei begrenztem Bauraum
Geringes Gewicht - Entlastet Roboterachsen, reduziert Energieverbrauch und ermöglicht kürzere Taktzeiten
Exzellente Korrosionsbeständigkeit - Ideal für aggressive Medien und lange Produktlebenszyklen